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J-GLOBAL ID：201202257006584436   整理番号：12A1523353

TEM中で作製したLab-in-a-TEMケイ素ナノ接合の弾道熱伝導率

Ballistic Thermal Conductance of a Lab-in-a-TEM Made Si Nanojunction

著者 (9件)： JALABERT L. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SATO T. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  ISHIDA T. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJITA H. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  CHALOPIN Y. (Ecole Centrale Paris, Chatenay-Malabry, FRA) ,  CHALOPIN Y. (Lab. d’Energetique Moleculaire et Macroscopique, CNRS, Chatenay-Malabry, FRA) ,  VOLZ S. (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  VOLZ S. (Lab. d’Energetique Moleculaire et Macroscopique, CNRS, Chatenay-Malabry, FRA) ,  VOLZ S. (Ecole Centrale Paris, Chatenay-Malabry, FRA)
資料名： Nano Letters  (Nano Letters)
巻： 12  号： 10  ページ： 5213-5217  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： W1332A  ISSN： 1530-6984  CODEN： NALEFD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 透過型電子顕微鏡装置内に組み込んだミクロ電気機械システムLab-in-a-TEMを用いてケイ素ワイヤのナノ接合を作製し,熱伝導率におよぼすナノワイヤサイズおよび温度の影響を測定した。長いナノワイヤに比べて熱伝導率は2桁高く,境界散乱を含まないフォノンの弾道輸送モデルによる計算結果は実測値と良い一致を与えた。

シソーラス用語： *透過型電子顕微鏡 ,  *MEMS ,  ケイ素 ,  ナノワイヤ ,  *接合 ,  *熱伝導率 ,  サイズ効果 ,  温度依存性 ,  散乱 ,  弾道フォノン ,  *バリスティック輸送 ,  界面
準シソーラス用語： MEMSデバイス ,  *ナノ接合 ,  フォノン散乱 ,  固固界面 ,  弾道輸送

分類 (4件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  固-固界面  (CB12060M) ,  顕微鏡法  (BK01040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： TEM ,  作製 ,  ケイ素 ,  ナノ接合 ,  弾道 ,  熱伝導率