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J-GLOBAL ID：201202257083599403   整理番号：12A1447730

Ti/Au-SiO₂位相整合層反射器を用いたInGaAs/InP光検出器の量子効率の改善

Improved quantum efficiency of InGaAs/InP photodetectors using Ti/Au-SiO₂ phase-matched-layer reflector

著者 (3件)： YUAN Jinrong (Univ. Virginia, VA, USA) ,  CHEN Baile (Univ. Virginia, VA, USA) ,  HOLMES A. L., Jr (Univ. Virginia, VA, USA)
資料名： Electronics Letters  (Electronics Letters)
巻： 48  号： 19  ページ： 1230-1232  発行年： 2012年09月13日 
JST資料番号： A0887A  ISSN： 0013-5194  CODEN： ELLEAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 赤外光検出器は,電気通信,暗視,ガス監視および検出,腫瘍検知および化学的法医学のような領域における用途をもっており,そのデバイスの重要な性能基準の1つが量子効率である。本レターでは,SiO₂位相整合層を有するTi/Au反射器を適用することにより,InGaAs/InP光検出器の量子効率を,λ=1550nmで50から70.2%まで増加することができた。超広帯域の鏡は,製作プロセスが簡単で,有望な反射率を有する(基準のSi基板に対して97.9%で,InGaAs/InP光検出器に対して79%)。

シソーラス用語： *量子効率 ,  *ヒ化ガリウムインジウム ,  *リン化インジウム ,  *光検出器 ,  チタン ,  金 ,  二酸化ケイ素 ,  *位相整合 ,  *反射器 ,  広帯域 ,  反射鏡 ,  屈折率 ,  シミュレーション

分類 (1件)： その他の光伝送素子  (BD06040S)

タイトルに関連する用語 (7件)： Ti ,  位相整合 ,  反射器 ,  InGaAs ,  InP ,  光検出器 ,  量子効率