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J-GLOBAL ID：201202257231056082   整理番号：12A1098817

技術的部品の光学検査のための位相回復

Phase retrieval for optical inspection of technical components

著者 (5件)： FALLDORF Claas (Bremer Inst. Angewandte Strahltechnik, Bremen, DEU) ,  AGOUR Mostafa (Bremer Inst. Angewandte Strahltechnik, Bremen, DEU) ,  AGOUR Mostafa (South Valley Univ., Aswan, EGY) ,  VON KOPYLOW Christoph (Bremer Inst. Angewandte Strahltechnik, Bremen, DEU) ,  BERGMANN Ralf B (Bremer Inst. Angewandte Strahltechnik, Bremen, DEU)
資料名： Journal of Optics  (Journal of Optics)
巻： 14  号： 6  ページ： 065701,1-7  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： D0538C  ISSN： 2040-8978  CODEN： JOOPCA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近著者らは,測定時間を劇的に短縮するセットアップを提示した。これは,対応するFourier面における位相変調空間光変調素子(SLM)を用いた4f-構成にもとづいている。ここにfはレンズの焦点距離である。本稿において,著者らは初めて,位相回復方式は,熱負荷の下にある技術部品(一例としてホルダー上の金属膜)表面下の隠された含有物(欠陥など)を光学的に検出できることを示した。熱負荷は,ホルダーの背面に付着させた抵抗体加熱によって与えた。この方式は,一組の強度測定からの位相回復を用いて物体による光散乱の位相分布の決定に基づいている。すでに存在する構成と対照的に,使用したセットアップは,必要な強度分布の迅速な取得を可能にした。提示したシステムは,位相シフト干渉法に基づく検査システムの全ての性質を示し,しかもこれは,参照波を必要とせず,このことは,本システムを環境の撹乱に対してより耐性があるものとし,従って本システムは,将来の産業応用に対してより好ましい。

シソーラス用語： *位相回復 ,  位相変調 ,  空間光変調素子 ,  干渉測定 ,  システム ,  分布 ,  *光散乱 ,  熱負荷 ,  金属薄膜 ,  *光検出 ,  波動場 ,  波動伝搬
準シソーラス用語： SLM【変調素子】 ,  位相シフト干渉法 ,  位相分布 ,  強度分布 ,  金属膜 ,  検査システム ,  *光学的検出 ,  波動伝播

分類 (2件)： 光学的測定とその装置一般  (BD07010S) ,  光学情報処理  (BD03060T)

タイトルに関連する用語 (1件)： 位相回復