文献

J-GLOBAL ID：201202257502853129   整理番号：12A1715591

部分的被覆電極をもつZnO薄膜焦電デバイスに関する温度場解析

Temperature Field Analysis for ZnO Thin-Film Pyroelectric Devices with Partially Covered Electrode

著者 (3件)： HSIAO Chun-Ching (National Formosa Univ., Yunlin County, TWN) ,  HUANG Sheng-Wen (National Formosa Univ., Yunlin County, TWN) ,  CHANG Rwei-Ching (St. John’s Univ., Taipei, TWN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 24  号： 8  ページ： 421-441  発行年： 2012年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有限要素モデリングを適用して多層ZnO焦電デバイスの温度場シミュレーションを実施した。結果は電極幅の調整によって温度変動率が改善し,ZnO膜厚が薄くなると改善の度合いも向上するとわかった。200nm厚みのZnO層における温度変動率の顕著な改善は電極幅がほぼ1μmのときに約27%の飽和率を示した。しかも,最適電極幅はZnO膜厚が減れば小さくなる。このZnO膜厚の低減は明らかに温度変動率を増大させてしかも応答時間を短縮し;最適幅をもつ電極はこの温度変動率をさらに拡張させる。またさらに,電極幅が最適値よりも小さいときには,比較的薄いZnO膜の場合に温度変動率は目だって減少する。これに加えて,実験結果はシミュレーション結果を裏付けていて,この電極幅が焦電センサの設計にとって決定的なパラメータであるととわかった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 電極 ,  被覆 ,  酸化亜鉛 ,  固体素子 ,  *焦電気 ,  焦電体 ,  温度場 ,  *誘電体薄膜 ,  検出器 ,  センサ ,  *圧電センサ ,  熱伝導 ,  速度 ,  形状効果 ,  過渡応答 ,  素子構造 ,  動的解析
準シソーラス用語： ピロ電気検出器 ,  焦電デバイス ,  薄膜素子 ,  被覆電極

分類 (2件)： 圧電気,焦電気,エレクトレット  (BM05040M) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

引用文献 (10件)：

• 1 R. W. Whatmore: Rep. Prog. Phys. 49 (1986) 1335.
• 2 S. G. Porter: Ferroelectrics 33 (1980) 193.
• 3 C. C. Chang and C. S. Tang: Sens. Actuators, A 65 (1998) 171.
• 4 A. Cuadrasa, M. Gasulla and V. Ferrari: Sens. Actuators, A 158 (2010) 132.
• 5 C. S. Wei, Y. Y. Lin, Y. C. Hu, C. W. Wu, C. K. Shih, C. T. Huang and S. H. Chang: Sens. Actuators, A 128 (2006) 18.

タイトルに関連する用語 (5件)： 被覆電極 ,  ZnO薄膜 ,  焦電デバイス ,  温度場 ,  解析