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J-GLOBAL ID：201202257774874249   整理番号：12A1429684

位相敏感パラメトリック光学計測学: 三次元光学計測学の限界の研究

Phase sensitive parametric optical metrology: Exploring the limits of 3-dimensional optical metrology

著者 (6件)： SILVER Richard M. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  QIN Jing (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  BARNES Bryan M. (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  ZHOU Hui (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  DIXSON Ronald (National Inst. Standards and Technol., MD, USA) ,  GOASMAT Francois (National Inst. Standards and Technol., MD, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8324  号： Pt.1  ページ： 83240N.1-83240N.12  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： クリティカルディメンジョン(CD),輪郭計測,欠陥検査などで遭遇する二次元及び三次元レイアウト測定における感度と不確実性を,厳密な電磁シミュレーションと統計的方法を用いて評価した。まず,シミュレーションにより,可能な測定感度と不確実性の基礎を理解した。次に,現実的機器と試料雑音モデルを用いて,実験で達成できる感度を現実的に評価した。三次元スルーフォーカス光学画像を厳密に解析できる新しい手法を開発した。

シソーラス用語： 計測工学 ,  *光学的測定 ,  計算機シミュレーション ,  電磁場解析 ,  *不確実性 ,  感度 ,  顕微鏡観察 ,  *位相検波
準シソーラス用語： *位相敏感検出 ,  電磁シミュレーション

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 位相 ,  光学計測 ,  限界 ,  研究