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J-GLOBAL ID：201202258444835014   整理番号：12A1727980

超音波噴霧熱分解法で合成した塩化インジウムドープZnO膜の構造特性,電気的性質,光学的性質

Structural, electrical and optical properties of indium chloride doped ZnO films synthesized by Ultrasonic Spray Pyrolysis technique

著者 (8件)： ZALETA-ALEJANDRE E. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados-IPN, Departamento de Fisica, Apdo, Postal 14-470, Del. Gustavo A. ...) ,  CAMARGO-MARTINEZ J. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados-IPN, Departamento de Fisica, Apdo, Postal 14-470, Del. Gustavo A. ...) ,  RAMIREZ-GARIBO A. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados-IPN, Departamento de Fisica, Apdo, Postal 14-470, Del. Gustavo A. ...) ,  PEREZ-ARRIETA M.l. (Universidad Autonoma de Zacatecas, Unidad Academica de Fisica, Calzada Solidaridad esq. Paseo, La Bufa s/n, C.P. ...) ,  BALDERAS-XICOHTENCATL R. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados-IPN, Departamento de Fisica, Apdo, Postal 14-470, Del. Gustavo A. ...) ,  RIVERA-ALVAREZ Z. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados-IPN, Departamento de Fisica, Apdo, Postal 14-470, Del. Gustavo A. ...) ,  AGUILAR-FRUTIS M. (Centro de Investigacion en Ciencia Aplicada y Tecnologia Avanzada-IPN, Legaria 694, Col. Irrigacion, Del. Miguel ...) ,  FALCONY C. (Centro de Investigacion y de Estudios Avanzados-IPN, Departamento de Fisica, Apdo, Postal 14-470, Del. Gustavo A. ...)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 524  ページ： 44-49  発行年： 2012年12月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 塩化インジウムドープZnO(ZnO:In)薄膜をガラス基板上に蒸着した。基板温度,蒸着時間,噴霧溶液に添加した酢酸が薄膜の構造特性,電気的性質,光学的性質に及ぼす影響を報告する。全ての膜は六方晶系(ウルツ鉱型)構造を持つ多結晶で,透過率は>80%,電気抵抗率は10^-3-10^-2Ωcm台であった。電気抵抗率は添加した酢酸の体積%に依存した。最小電気抵抗率値は基板温度450°Cにおいて5vol.%酢酸(pH=3.71)で得られた。基板温度450°Cにおける蒸着速度は180Å/分と速かった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 噴霧法 ,  超音波応用 ,  塩化インジウム ,  ドーピング ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  半導体材料 ,  *半導体薄膜 ,  *薄膜成長 ,  基板温度 ,  温度依存性 ,  結晶構造 ,  透過率 ,  電気抵抗率
準シソーラス用語： 光透過率 ,  噴霧熱分解

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： 超音波噴霧 ,  塩化インジウム ,  ドープ ,  ZnO ,  構造特性 ,  電気的性質 ,  光学的性質