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J-GLOBAL ID：201202258471220684   整理番号：12A1333485

積層板に製作した高電力磁気駆動マイクロスイッチ

High-Power Magnetically Actuated Microswitches Fabricated in Laminates

著者 (4件)： BACHMAN Mark (Univ. California, CA, USA) ,  ZHANG Yang (Univ. California, CA, USA) ,  WANG Minfeng (Univ. California, CA, USA) ,  LI G.-P. (Univ. California, CA, USA)
資料名： IEEE Electron Device Letters  (IEEE Electron Device Letters)
巻： 33  号： 9  ページ： 1309-1311  発行年： 2012年09月 
JST資料番号： B0344B  ISSN： 0741-3106  CODEN： EDLEDZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本レターは,3ms以下の,低DC電圧(10V)の10Wと高交流電圧(110V)の15Wで切り替えできる,磁気駆動ラッチングマイクロ電気機械DCスイッチにつき報告した。スイッチを在来のMEMSとは別に設計し製作したので,本来高電力を扱うことができた。このスイッチは,厚い配線,大3D構成,そして磁石や高分子スプリングのような異なる材料の統合を可能にする,積層板技術を活用した。積層板製造技術は,十分拡張性あるプロセスを表す,先端パッケージングファウンドリに容易に利用できた。本研究は次世代MEMS素子の設計・製作への非シリコン方式を求める利点を示した。

シソーラス用語： *積層板 ,  電磁駆動 ,  *マイクロスイッチ ,  直流電圧 ,  交流電圧 ,  電気機械 ,  スイッチ ,  MEMS ,  ばね ,  高分子 ,  包装 ,  生産システム ,  電力
準シソーラス用語： ファンドリ ,  *高電力 ,  *磁気駆動

分類 (1件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 積層板 ,  製作 ,  高電力 ,  磁気駆動 ,  マイクロスイッチ