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J-GLOBAL ID：201202258627970883   整理番号：12A0215143

(11-22)半極性GaN結晶の品質の傾斜超格子による改善

Improvements in (1122) semipolar GaN crystal quality by graded superlattices

著者 (9件)： XU S.r. ,  ZHANG J.c. ,  CAO Y.r. ,  ZHOU X.w. ,  XUE J.s. ,  LIN Z.y. ,  MA J.c. ,  BAO F. ,  HAO Y.
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 6  ページ： 1909-1912  発行年： 2012年01月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 有機金属化学蒸着によって堆積した半極性(11-22)GaN薄膜における欠陥を低減するための傾斜超格子(SL)の採用について報告する。高解像度X線回折解析から,SLを採用すると,軸上,および軸外のいずれの場合にも,半値全幅が大幅に減少することが分かった。原子間力顕微鏡像から,基底面積層欠陥に関係するスレート状の特徴は,大幅に減少することが明らかになった。また,透過型電子顕微鏡像から,傾斜超格子の採用によって,貫通転位が大幅に減少することが分かった。室温における光ルミネセンス測定から,SLを挿入すると,バンド端発光強度が増大し,非輻射再結合中心の減少を示唆している。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 極性 ,  *窒化ガリウム ,  化合物半導体 ,  *MOCVD ,  人工超格子 ,  X線回折 ,  FWHM ,  底面 ,  透過型電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  貫通転位 ,  光ルミネセンス ,  再結合中心 ,  可視発光スペクトル ,  *半導体薄膜
準シソーラス用語： 基底面 ,  傾斜超格子 ,  高分解能X線回折 ,  半極性

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半極性 ,  GaN ,  結晶 ,  超格子