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J-GLOBAL ID：201202258813464688   整理番号：12A0569856

原子および分子層蒸着を用いた微粒子の官能化

Functionalization of fine particles using atomic and molecular layer deposition

著者 (3件)： KING David M. ,  LIANG Xinhua ,  WEIMER Alan W.
資料名： Powder Technology  (Powder Technology)
巻： 221  ページ： 13-25  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： B0730A  ISSN： 0032-5910  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 粒子ALD(原子層蒸着)/MLD(分子層蒸着)を用いて,耐火酸化物,非酸化物,金属そして特にハイブリッド高分子ベース材料の,共形でピンホール無しの膜を蒸着することができる。流動層反応器が大規模運転に適しており,標準的な自己制限流に基づくALD/MLDプロセスに必要な不活性ガスを用いて,減圧で運転できる。連続流加工が,反応器室から下流のインライン質量分析計を用いた,プロセス制御を可能にする。本論文は,粒子ALD/MLDで使用した技法および測定を含め,著者らによって行われた粒子ALD/MLD研究の幾つかをレビューする。また,官能化または不活性化ナノ材料の現在および将来の幾つかの応用に,ここで焦点を当てた。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *蒸着 ,  薄膜成長 ,  微粒子 ,  *官能化 ,  *単分子層 ,  *単原子層 ,  流動層反応器 ,  化学蒸着 ,  質量分析計 ,  不活性化 ,  不活性ガス ,  被覆 ,  ナノ構造 ,  材料 ,  ナノ材料
準シソーラス用語： *原子層蒸着

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  固体の製造・処理一般  (XD03021O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 原子 ,  分子層蒸着 ,  微粒子 ,  官能化