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J-GLOBAL ID:201202258816933816   整理番号:12A1457888

原子間力顕微鏡観察と走査型近接場光学顕微鏡観察用のファイバトップ及びフェルールトップ片持梁

Fiber-top and ferrule-top cantilevers for atomic force microscopy and scanning near field optical microscopy
著者 (10件):
資料名:
巻: 8430  ページ: 84300Z.1-84300Z.8  発行年: 2012年 
JST資料番号: D0943A  ISSN: 0277-786X  CODEN: PSISDG  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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フェルールトップ片持梁(FTC)はFabry-Perot干渉法を用いて片持梁の偏向を測定する。走査型プローブ顕微鏡(SPM)観察用に特別に開発したFTCはトポグラフィーと集光/発光の機能を持つ鋭いチップを備えている。これらのプローブを空気中,液体中及び低温(12K)で用いてSPM観察を行った。またFTCの多機能性により,走査近接場光学顕微鏡法及び光透過顕微鏡法と接触/非接触モード原子間力顕微鏡法との組合せを可能にした。FTCはUVナノリソグラフィーやナノ規模のオンデマンド光励起にも潜在的応用可能性を有する。
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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光学的測定とその装置一般  ,  顕微鏡法 

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