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J-GLOBAL ID:201202258831073017   整理番号:12A0058722

電気化学表面積の無電解銅メッキに及ぼす効果 新アクチベータとしてのPdナノキューブ

Effect of electrochemical surface area on electroless copper deposition: Pd nanocubes as new activators
著者 (5件):
資料名:
巻: 59  ページ: 587-591  発行年: 2012年01月01日 
JST資料番号: B0535B  ISSN: 0013-4686  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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ここでは,無電解銅メッキ(ECD)に使われる種々のアクチベータの公正な比較を得るために,電気化学的な表面積(ESA)及び比活性を用いた。異なるサイズ(27,48,及び63nm)の{100}面で閉じたPdナノキューブ(NC)を,新しいアクチベータとして用いるため,成功裏に合成した。混成電位理論に基づく解析の結果によれば,堆積電流密度という点での比活性は,27,48,63nmのNC,及び9nmのナノ粒子(NP)に対して,それぞれ0.31,1.06,0.93,及び0.13mAcm-2ESAであった。電気化学水晶振動子微量天秤測定から,平均堆積速度から計算された比活性は,27,48,63nmのNC,及び9nm NPに対して,それぞれ29.62,68.72,54.77,及び9.72μgcm-2s-1であった。比活性の順序48nm NC>63nm NC>27nm NC>9nm NPを得た。48nmのPd NCはECD浴の活性化に向けて最大の活性を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (3件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  プリント回路  ,  貴金属触媒 

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