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J-GLOBAL ID：201202259014763032   整理番号：12A1383592

膜応力の効果を利用したマイクロスプリングプローブの作製

著者 (2件)： 岸本亨太 (沖縄工高専) ,  兼城千波 (沖縄工高専)
資料名： 電子情報通信学会大会講演論文集  (電子情報通信学会ソサイエティ大会講演論文集)
巻： 2012  号： エレクトロニクスソサイエティ2  ページ： 5  発行年： 2012年08月28日 
JST資料番号： G0508A  ISSN： 1349-1369  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロプローブの作製を行い,応力の分布に関する条件の最適化を検討した結果,以下のことを確認できた。(1)フォトリソグラフィ等の基本的なプロセス技術を用いて,最小幅5mのマイクロスプリングプローブを作製した。(2)スパッタガス圧を変化させながら蒸着を行うことで,プローブ膜内に応力差を与え,プローブを反らせることができた。プローブの反りを制御するため,さらにスパッタガス圧,膜厚を検討する。(著者抄録)

シソーラス用語： *半導体チップ ,  半導体集積回路 ,  *マイクロプローブ ,  製品検査 ,  蒸着膜 ,  片持梁 ,  応力分布 ,  スパッタ蒸着
準シソーラス用語： ICチップ

分類 (1件)： 集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (2件)： 膜応力 ,  作製