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J-GLOBAL ID：201202259244186387   整理番号：12A1370694

フェムト秒レーザパルスによって誘起された規則的ナノホールアレイによるシリコン表面のカラー化

Colorizing silicon surface with regular nanohole arrays induced by femtosecond laser pulses

著者 (8件)： ZHANG Cheng-yun ,  YAO Jian-wu ,  LIU Hai-ying ,  DAI Qiao-feng ,  WU Li-jun ,  LAN Sheng ,  TROFIMOV Vyacheslav A. ,  LYSAK Tatiana M.
資料名： Optics Letters  (Optics Letters)
巻： 37  号： 6  ページ： 1106-1108  発行年： 2012年03月15日 
JST資料番号： H0690A  ISSN： 0146-9592  CODEN： OPLEDP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フェムト秒レーザーにより適切なパワーと速度で走査することによる,シリコンウェハ表面上への一次元と二次元(1Dと2D)のナノホールアレイの形成について報告した。この基本となる物理的機構を,有限差分時間領域法を基にした数値シミュレーションによって明らかにした。初期に形成されたグレーティング(ないしはリップル)の長さと深さが1Dもしくは2Dナノホールアレイの生成において重要な役割を果たしていることを明らかにした。こうしたナノホールアレイによって施飾したシリコン表面は,白色光の効率的な回折を通して光輝く構造的カラーを表現できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *彩飾 ,  *パルスレーザ照射 ,  フェムト秒 ,  ケイ素 ,  光走査 ,  アレイ ,  有限差分時間領域法 ,  シミュレーション
準シソーラス用語： ナノホールアレイ ,  レーザ走査 ,  施飾 ,  数値シミュレーション

分類 (2件)： 色  (BD03090A) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒レーザパルス ,  誘起 ,  規則 ,  ナノホールアレイ ,  シリコン ,  カラー