抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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最近のパターン投影法においては計測の高速化とフレキシブルな装置の実現のために,バイナリパターンをぼかして近似的な正弦格子を投影する手法が行われている。しかし,どの程度のデフォーカスが適切かは経験に依存しており,また本質的に測定の深度が浅くなる問題がある。我々はより深い測定深度を実現するために,DLPプロジェクタを用いて各種デジタルパターンの投影を行い,さらに高機能化した装置の実現を目指す。第1報としてモアレパターンを投影することにより正弦状の強度分布を有する格子パターンを形成させるとともに,その有用性について報告する。(著者抄録)