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J-GLOBAL ID：201202259672816514   整理番号：12A1602314

点集束超音波分光法を使用した膜の局所的縦方向および横方向の波速度,減衰,密度,および厚さの同時測定

Simultaneous measurement of local longitudinal and transverse wave velocities, attenuation, density, and thickness of films by using point-focus ultrasonic spectroscopy

著者 (3件)： JU Bing-feng (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  BAI Xiaolong (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN) ,  CHEN Jian (The State Key Lab. of Fluid Power Transmission and Control, Zhejiang Univ., Hangzhou 310027, CHN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 112  号： 8  ページ： 084910-084910-8  発行年： 2012年10月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,高い横分解能を与える点集束超音波分光法を用いた,膜または2つの既知の物質の間に埋め込まれた層状物質の薄層の音響的,幾何学的性質の完全な組の同時定量のための超音波技術を提示する。層状物質の2次元スペクトルR_t(θ,ω)の理論モデルを未知の層の6つのパラメータ,すなわち膜の性質を完全に決定した縦方向および横方向の速度c_l,c_t,減衰α_l,α_t,密度ρ,および厚さの関数として計算する。実験スペクトルR_e(θ,ω)は,V(z,t)法によって測定することができる。パラメータの探索プロセスを1つの6次元空間から2つの3次元空間への分解するための2段階のアルゴリズムを示す。実験的なノイズに対して,個々の性質とその安定性に対する2次元スペクトルの感度を研究する。250μmの厚さのステンレス鋼膜と水に浸漬した3層層状物質の930μm厚のSiO₂薄膜の完全な特性を決定する。提案した手法は点集束トランスデューサを用いたが,これはセットアップを簡単で信頼性のあるものにする。それは膜の局所的特性の測定を可能にし,高精度の物質特性評価を可能にする。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *スペクトロスコピー ,  *積層材料 ,  埋込み【挿入】 ,  薄膜 ,  縦方向 ,  横方向 ,  *超音波速度 ,  *膜厚 ,  *超音波減衰 ,  *密度 ,  同時計測 ,  ステンレス鋼 ,  浸漬 ,  二酸化ケイ素 ,  超音波変換器 ,  雑音 ,  安定性
準シソーラス用語： *層状材料 ,  *超音波分光法 ,  薄層

分類 (2件)： 音波伝搬  (BB03030G) ,  固体の音波物性一般  (BL02031U)

タイトルに関連する用語 (10件)： 点 ,  集束 ,  超音波分光法 ,  縦方向 ,  横方向 ,  波速度 ,  減衰 ,  密度 ,  厚さ ,  同時測定