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J-GLOBAL ID：201202259738208677   整理番号：12A1651048

ナノコンポジットNi/Ti多層薄膜の空気中におけるレーザー処理

Laser treatment of nanocomposite Ni/Ti multilayer thin films in air

著者 (8件)： PETROVIC Suzana (Vinca Inst. of Nuclear Sciences, Univ. of Belgrade, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  PERUSKO D. (Vinca Inst. of Nuclear Sciences, Univ. of Belgrade, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  KOVAC J. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  PANJAN M. (Jozef Stefan Inst., Jamova 39, 1000 Ljubljana, SVN) ,  GAKOVIC B. (Vinca Inst. of Nuclear Sciences, Univ. of Belgrade, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  RADAK B. (Vinca Inst. of Nuclear Sciences, Univ. of Belgrade, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  JANKOVIC-MANDIC Lj. (Vinca Inst. of Nuclear Sciences, Univ. of Belgrade, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, Serbia) ,  TRTICA M. (Vinca Inst. of Nuclear Sciences, Univ. of Belgrade, P.O. Box 522, 11001 Belgrade, Serbia)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 211  ページ： 93-97  発行年： 2012年10月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 波長1064nmと150psのパルス幅で作動しているNd:YAGレーザーとNi/Ti多層薄膜との相互作用を研究した。DCイオンスパッタリングによりSi(100)ウエハ上に約180nmの全厚まで堆積した5つの(Ni/Ti)バイレーヤーのナノコンポジット構造を,焦点調整無しの約55mJのレーザーパルスエネルギーで(フルーレンス1Jcm^-2)処理した。多重パルスレーザー照射を空気中22°の入射角で行った。組成と表面形態をオージェ電子分光法(AES),走査電子顕微鏡(SEM)および原子間力顕微鏡(AFM)により観測した。吸収されたレーザーエネルギーの主要部分は素早く熱に変換され,ターゲット表面上の組成と形態の強い変化を生じさせる。表面酸化に加えて,結果は表面粗さの増大,規則的に波打つ表面トポグラフィーおよびマイクロクラックを示した。深さ分布AES分析は,レーザーアニールがNiTi金属間化合物の可能な形成の兆候と共に,個々のNiおよびTi層の成分間の相互混合を引き起こすことを明らかにした。レーザー照射前のトップレーヤーはNiであるが,興味深い発見はTiの表面偏析である。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *多層膜 ,  *ニッケル ,  *チタン ,  ナノ複合材料 ,  多層構造 ,  *レーザ応用 ,  パルスレーザ ,  *レーザ照射 ,  表面構造 ,  *金属薄膜 ,  ウエハ【IC】 ,  金属間化合物 ,  合金化 ,  レーザアニーリング ,  酸化 ,  微小亀裂 ,  イオンビームスパッタリング ,  蒸着膜 ,  空気
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  表面酸化

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： ナノコンポジット ,  Ni ,  Ti ,  多層薄膜 ,  空気中 ,  レーザー