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J-GLOBAL ID：201202259746195932   整理番号：12A1439353

強力,高フッ化結合酸を産生する安定化酸増幅剤の合成

Synthesis of Stable Acid Amplifiers that Produce Strong, Highly Fluorinated Polymer Bound Acid

著者 (6件)： HOSOI Kenji (Central Glass, Co. Ltd., Tokyo, JPN) ,  CARDINEAU Brian (Univ. NY) ,  EARLEY William (Univ. NY) ,  KRUGER Seth (Univ. NY) ,  MIYAUCHI Koichi (Central Glass, Co. Ltd., Tokyo, JPN) ,  BRAINARD Robert (Univ. NY)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8325  ページ： 83251S.1-83251S.7  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 極紫外(EUV)リソグラフィーに利用するために一連の安定な酸増幅剤(AA)を設計しそしてテストして,強力なフッ素化高分子結合酸を産生した。斬新な重合体結合とブレンドAAを適度な収率で製造して,それをNMR(核磁気共鳴)により評価した。この重合体結合AAレジストが3.8nmの線端粗さ(LER)値を示した。重合体ブレンドAAレジストでは2.1nmのLER値に改善され,対照サンプルレジストのLER値は4.6nmであった。これらの新しいレジストはAAを使わない対照群レジストと比較して,LERに顕著な向上が観察された。

シソーラス用語： *リソグラフィー ,  *フォトレジスト ,  ポリマブレンド ,  光重合型コンポジットレジン ,  分子設計 ,  *酸触媒反応
準シソーラス用語： 光重合コンポジットレジン ,  紫外線リソグラフィー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光化学反応  (CB08020F)

タイトルに関連する用語 (3件)： 酸 ,  安定化 ,  増幅