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J-GLOBAL ID：201202259832011488   整理番号：12A1099801

ZnO電界効果トランジスタをベースとするNO₂センサにおける電荷キャリア捕獲の動力学

Dynamics of charge carrier trapping in NO₂ sensors based on ZnO field-effect transistors

著者 (13件)： ANDRINGA Anne-marije (Univ. of Groningen, Zernike Inst. for Advanced Materials, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  ANDRINGA Anne-marije (Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  VLIETSTRA Nynke (Univ. of Groningen, Zernike Inst. for Advanced Materials, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  VLIETSTRA Nynke (Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  SMITS Edsger C.P. (Holst Centre, High Tech Campus 31, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  SPIJKMAN Mark-jan (Univ. of Groningen, Zernike Inst. for Advanced Materials, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  SPIJKMAN Mark-jan (Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  GOMES Henrique L. (Universidade do Algarve, Fac. of Sci. and Technol., Campus de Gambelas, 8005-139 Faro, PRT) ,  KLOOTWIJK Johan H. (Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  BLOM Paul W.M. (Univ. of Groningen, Zernike Inst. for Advanced Materials, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  BLOM Paul W.M. (Holst Centre, High Tech Campus 31, 5656 AE Eindhoven, NLD) ,  DE LEEUW Dago M. (Univ. of Groningen, Zernike Inst. for Advanced Materials, Nijenborgh 4, 9747 AG Groningen, NLD) ,  DE LEEUW Dago M. (Philips Res. Laboratories, High Tech Campus 4, 5656 AE Eindhoven, NLD)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 171-172  ページ： 1172-1179  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnO電界効果トランジスタを用いるNO₂検知器の電荷捕獲と復元の動力学を温度の関数として調べた。閾値電圧移動(ΔV_th)は熱的に活性化された緩和時間τ(∝exp(E_a/k_BT))との拡張指数関数関係ΔV_th∝{1-exp(-(t/τ)^β)}で表される。活性化エネルギーE_aは捕獲について0.1eV,脱捕獲について1.2evである。逃げようとする試み(attempt-to-escape)の周波数と特性温度は電荷捕獲について960Kで1Hz,復元について750Kで10¹¹Hzである。約1eVの深さで捕獲された電荷キャリアの存在を確かめた。実験で得た時間依存性をセンサの時間挙動を予測する解析的モデルに入力した。モデルを実験的に検証し,リアルタイムセンサを開発した。解析的記述はセンサの駆動プロトコルの最適化に使うことができ,求めるNO₂分圧範囲に合わせて応答時間と感受性を最適化することができる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： 指数関数 ,  *二酸化窒素 ,  *FET【トランジスタ】 ,  キャリア ,  キャリア捕獲 ,  電圧 ,  熱刺激電流 ,  活性化エネルギー ,  *ガスセンサ ,  酸化亜鉛
準シソーラス用語： 拡張指数関数 ,  電荷キャリア ,  *電界効果トランジスタ ,  閾値電圧

分類 (4件)： 無機化合物の物理分析  (CC03024P) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A) ,  その他の接合  (BM03088W) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (6件)： ZnO ,  電界効果トランジスタ ,  NO2 ,  電荷 ,  キャリア捕獲 ,  動力学