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J-GLOBAL ID：201202260248311141   整理番号：12A1554105

ナノデバイス製作のための自動化したナノマニピュレーション

Automated Nanomanipulation for Nano Device Construction

著者 (6件)： ZHANG Yan Liang (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  LI Jason (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  TO Steve (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  ZHANG Yong (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  YE Xutao (Univ. Toronto, ON, CAN) ,  SUN Yu (Univ. Toronto, ON, CAN)
資料名： Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation  (Proceedings. IEEE International Conference on Robotics and Automation)
巻： 2012 Vol.2  ページ： 1063-1068  発行年： 2012年 
JST資料番号： T0044A  ISSN： 1050-4729  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿は,ナノワイヤデバイスのバッチ微小加工および直列後処理のための技術を述べた。バッチ微小加工プロセスはウェーハ規模であるが,著しく変化した直径を持つ無制限数の橋架けナノワイヤを持った。直列プロセスに拘わらず,ナノロボットの選択性ナノワイヤ除去が,ナノワイヤの数と直径の正確な制御を可能にした。システムは,視覚に基づく閉ループ位置制御および視覚センサとしてのSEMを用いた視覚認識と追跡を採用した。実験結果は,ナノロボットシステムが,95%(手動ナノマニピュレーションの48.3%に対し)のナノFETデバイスの後処理成功率を持ち,そしてデバイス当り1分(手動のデバイス当り10.3分に対し)の速度を持つ,ことを証明した。成功率と効率両方での著しい改善は,特定のナノワイヤ選択と高精度位置制御を可能にした自動操作の結果であった。

シソーラス用語： 操作 ,  固体素子 ,  *ナノメータ加工 ,  ナノワイヤ ,  微細加工 ,  後処理 ,  ウエハ【IC】 ,  直径 ,  マイクロロボット ,  FET【トランジスタ】 ,  位置制御 ,  走査電子顕微鏡 ,  *自動化 ,  視認 ,  確率
準シソーラス用語： ナノデバイス ,  ナノロボット ,  *マニピュレーション ,  視覚認識 ,  成功率

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： ナノデバイス ,  製作 ,  自動化 ,  マニピュレーション