抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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真空装置および周辺システムで使用される部品の1つにベローズがある。ベローズには,製造方法によって成形ベローズや溶接ベローズなどの種類がある。本稿では,ミラプロ社の溶接ベローズ製造技術を紹介した。同社は十数年前から溶接ベローズの製造を始め,さまざまな溶接に関するノウハウを蓄積し,独自の全自動ベローズ溶接装置を開発した。その製造工程と溶接技術について説明した。溶接にはおもにYAGレーザを使用する材料は,SUS304,304L,316Lなどのステンレス鋼やハステロイなどである。同社のベローズの品質は業界でも評価され,2017年稼働予定の大型低温重力波望遠鏡への真空機器用にも使用が決定している。