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J-GLOBAL ID：201202261053327791   整理番号：12A0779887

超低放電エネルギーによるカーボンナノチューブ森林の高精度乾燥微小電気放電マシニング

HIGH-PRECISION DRY MICRO-ELECTRO-DISCHARGE MACHINING OF CARBON-NANOTUBE FORESTS WITH ULTRALOW DISCHARGE ENERGY

著者 (6件)： SALEH Tanveer (Univ. British Columbia, Vancouver, CAN) ,  DAHMARDEH Masoud (Univ. British Columbia, Vancouver, CAN) ,  BSOUL Anas (Univ. British Columbia, Vancouver, CAN) ,  BSOUL Anas (Jordan Univ. Sci. and Technol., Irbid, JOR) ,  NOJEH Alireza (Univ. British Columbia, Vancouver, CAN) ,  TAKAHATA Kenichi (Univ. British Columbia, Vancouver, CAN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.1  ページ： 259-262  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CNT森林のμEDM(マイクロEDM)における逆極性の使用は,プロセスにおける放電電流の増加と共に放電電圧および隙間の低減に有効であるという仮説がある。この仮説を探求するため本論文では,純粋CNT森林のマイクロパターニングのためのμEDMにおける逆極性使用効果につき報告した。本ケースにおける陰極として機能するCNTの優れた電界放出特性により,CNT森林の新しいμEDM法では放電電流が増加した。従来の条件と比較し極めて低い放電エネルギー時のCNT森林μEDMを実現するため,本概念を利用した。10Vにおける逆μEDMにより加工した構造が,従来型正常極性ケースと比較し大幅な摩耗粉低減を実現しながらより高精度の平滑表面を備えたことを確認した。

シソーラス用語： *放電加工 ,  エネルギー ,  *カーボンナノチューブ ,  *森林 ,  *マイクロマシニング ,  パターン形成 ,  極性 ,  カソード ,  電流
準シソーラス用語： EDM【放電加工】 ,  マイクロパターニング ,  陰極 ,  極性反転 ,  *低エネルギー ,  放電電流

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 放電エネルギー ,  カーボンナノチューブ ,  森林 ,  微小 ,  電気放電 ,  マシニング