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J-GLOBAL ID：201202261155552374   整理番号：12A0029757

シリコンと石英の直接結合に基づいたシリコンチップをもつ水晶結晶走査プローブミクロカンチレバー

Quartz-crystal scanning probe microcantilevers with a silicon tip based on direct bonding of silicon and quartz

著者 (3件)： TAKAHASHI Akihiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ESASHI Masayoshi (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ONO Takahito (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 21  号： 40  ページ： 405502.1-405502.5  発行年： 2010年10月08日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  石英 ,  シリコンチップ ,  水晶 ,  結晶 ,  走査