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J-GLOBAL ID：201202261666069221   整理番号：12A0858813

シリコンチップ上に化学的にエッチングした超高Qくさび型共振器

Chemically etched ultrahigh-Q wedge-resonator on a silicon chip

著者 (7件)： LEE Hansuek (California Inst. of Technol., California, USA) ,  CHEN Tong (California Inst. of Technol., California, USA) ,  LI Jiang (California Inst. of Technol., California, USA) ,  YANG Ki Youl (California Inst. of Technol., California, USA) ,  JEON Seokmin (California Inst. of Technol., California, USA) ,  PAINTER Oskar (California Inst. of Technol., California, USA) ,  VAHALA Kerry J. (California Inst. of Technol., California, USA)
資料名： Nature Photonics  (Nature Photonics)
巻： 6  号： 6  ページ： 369-373  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W2212A  ISSN： 1749-4885  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超高Q光共振器は,量子情報,非線形光学,共振器オプトメカニクス,通信など幅広い分野で研究されている。今回我々は,オンチップデバイスとしては記録的なQ値(8億7500万)を持つ新たな共振器を実証している。このデバイスの製造には特殊な処理を必要としない。微小トロイド共振器の場合,その製造に特殊な処理が必要なために,大きさを制御することや,ミリメートルやセンチメートルのスケールの直径を実現することは難しかった。この程度の大きさを実現することは,微小共振器による光周波数コムなどの応用に重要であり,回転運動の検出でも重要になる可能性がある。我々は,大きさの制御の1つの応用として,このデバイスを組み込んだ誘導ブリルアンレーザーを実証している。この共振器は,オンチップでのQ値の新たな基準になるだけでなく,この種の重要なデバイスにおいて初めて従来の半導体製造工程に完全に適合したものである。このような特徴は,超高Qデバイスによって可能になる「システムオンチップ」の機能の幅を大きく広げるであろう。Copyright Nature Publishing Group 2012

シソーラス用語： *光共振器 ,  *半導体チップ ,  エッチング ,  Q値 ,  周波数 ,  超LSI
準シソーラス用語： シリコンチップ ,  光周波数コム ,  システムオンチップ

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコンチップ ,  化学 ,  エッチング ,  くさび型 ,  共振器