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J-GLOBAL ID：201202261721308621   整理番号：12A0900378

PACVD法によって堆積されたTiN被膜の摩耗挙動に及ぼすアクティブスクリーンプラズマ窒化前処理の効果

Effect of active screen plasma nitriding pretreatment on wear behavior of TiN coating deposited by PACVD technique

著者 (6件)： RAOUFI M. (School of Metallurgical Engineering, Iran Univ. of Sci. and Technol., Tehran, IRN) ,  MIRDAMADI Sh. (School of Metallurgical Engineering, Iran Univ. of Sci. and Technol., Tehran, IRN) ,  MAHBOUBI F. (Dep. of Mining and Metallurgical Engineering, Amirkabir Univ. of Technol., Tehran, IRN) ,  AHANGARANI Sh. (Advanced Materials & Renewable Energies Dep., Iranian Res. Organization for Sci. and Technol., IRN) ,  MAHDIPOOR M.s. (Dep. of Mining and Metallurgical Engineering, Amirkabir Univ. of Technol., Tehran, IRN) ,  ELMKHAH H. (Dep. of Metallurgical Engineering, Tarbiat Modares Univ., Tehran, IRN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 258  号： 20  ページ： 7820-7825  発行年： 2012年08月01日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チタンベース合金はその高硬度成分の故に異なる部品の磨耗特性の改良に精力的に利用されている。窒化チタン(TiN)はCVD,PVD,PACVDのような異なる技術を用いて表面に堆積できる被膜の仲間である。それらの基板との弱い界面はTiNの好ましい磨耗挙動にもかかわらず全体の磨耗を増大する主要な欠点である。この研究ではAISI H13(DIN 1.2344)鋼からディスク状の試料を作製した。これらのあるものには単一のTiN被膜を堆積し,他のものはアクティブスクリーンプラズマ窒化(ASPN)によってTiNを堆積した。表面アクティブスクリーンの硬度と試料の深さはVickersマイクロ硬度計で測定し,2重層ASPN-TiNに対して1810Hvの最大硬度値を得た。ピン-オン-ディスク摩耗試験を行い摩耗機構を研究した。この観点で,試料の摩耗挙動を100Cr6(Din 1.3505)ベアリング鋼とタングステンカーバイド-コバルト(WC-Co)鋼からのピンに対して調べた。2重層ASPN-TiN被膜がその高硬度値,安定な界面,磨耗期間中のはがれに対する許容できる耐性の故に最小重量損失の最良の磨耗挙動を示すことが明らかになった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *鋼 ,  イオン窒化 ,  摩耗試験 ,  *耐摩耗性 ,  軸受鋼 ,  *プラズマCVD ,  *セラミック被覆 ,  *微小硬さ
準シソーラス用語： Vickers硬度 ,  *プラズマ窒化 ,  *窒化チタン ,  ベアリング鋼

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 堆積 ,  TiN被膜 ,  摩耗挙動 ,  スクリーン ,  プラズマ窒化 ,  前処理