非晶質高κ酸化物の構造及び誘電特性:HfO<sub>2</sub>,ZrO<sub>2</sub>,及びそれらのアロイ

WANG Yin; ZAHID Ferdows; WANG Jian; GUO Hong; GUO Hong

文献

J-GLOBAL ID：201202261750285096 整理番号：12A1152014

非晶質高κ酸化物の構造及び誘電特性:HfO₂,ZrO₂,及びそれらのアロイ

Structure and dielectric properties of amorphous high-κ oxides: HfO₂, ZrO₂, and their alloys

出版者サイト複写サービスで全文入手
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=12A1152014&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0746A") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 85 号： 22 ページ： 224110.1-224110.5 発行年： 2012年06月
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

, , , , , , , , , , , ,

その他の非晶質の構造 , 誘電体一般

, , , , ,

前のページに戻る

非晶質高κ酸化物の構造及び誘電特性:HfO2,ZrO2,及びそれらのアロイ

非晶質高κ酸化物の構造及び誘電特性:HfO₂,ZrO₂,及びそれらのアロイ