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J-GLOBAL ID：201202261752824814   整理番号：12A0549397

UV接近印刷を利用した半楕円マイクロレンズの製作法

Semiellipsoid microlens fabrication method using UV proximity printing

著者 (4件)： HUNG Chien-hsin ,  HUNG Shih-yu ,  SHEN Ming-ho ,  YANG Hsiharng
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 51  号： 8  ページ： 1122-1130  発行年： 2012年03月10日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 新しい半楕円マイクロレンズの製作法を示した。この方法は,UVリソグラフィープロセスにおいて熱リフロー法ではなく印刷ギャップ制御法を利用した。UV接近印刷法は,半楕円マイクロレンズの曲率半径の比率を正確に制御した。提案された製作法は大量生産を促進し,高収率と高結合の半楕円マイクロレンズを達成した。それは商用ファイバ伝送系での利用に適当であった。半楕円マイクロレンズを単一モードファイバ端に取り付けて,レーザダイオードからのパワー結合効率を改良した。半楕円マイクロレンズにより,ファイバスポットサイズと開口数の増大が可能になった。レーザダイオードと単一モードファイバの間の光学結合効率を増大するために,アセンブリ工程での幾何学的パラメータの制御にとって最も重要であった。広いミスアラインメント許容差,低い損失と低い製造原価を達成できた。本研究では,半楕円マイクロレンズの多様な微細構造形状とアセンブリパラメータを用いて,光結合効率を予測する理論モデルも開発した。次に,TAGUCHIメソッドを適用し,最適な幾何学的パラメータを設定した。最適な幾何学的パラメータを設定することにより,光結合効率が著しく改良された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *マイクロレンズ ,  楕円 ,  *印刷 ,  紫外線照射 ,  田口メソッド ,  単一モードファイバ ,  半導体レーザ ,  *フォトリソグラフィー ,  アラインメント ,  組立工程 ,  大量生産 ,  開口数
準シソーラス用語： スポットサイズ ,  結合効率 ,  特殊印刷 ,  半楕円 ,  理論モデル

分類 (2件)： 光デバイス一般  (BD06010L) ,  写真技術一般  (ZA02010Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 接近 ,  半楕円 ,  マイクロレンズ ,  製作法