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J-GLOBAL ID：201202261892807570   整理番号：12A1191018

RFマグネトロンスパッタリングで形成したナノ結晶Cu₂O及びCuO膜の構造特性,表面形態,光学的性質: 酸素分圧効果

Structural, surface morphological, and optical properties of nanocrystalline Cu₂O and CuO films formed by RF magnetron sputtering: Oxygen partial pressure effect

著者 (3件)： REDDY M. Hari Prasad (Sri Venkateswara Univ., Tirupati, IND) ,  PIERSON J. F (Nancy Univ., Nancy, FRA) ,  UTHANNA S. (Sri Venkateswara Univ., Tirupati, IND)
資料名： Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 209  号： 7  ページ： 1279-1286  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： D0774A  ISSN： 1862-6300  CODEN： PSSABA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガラス及び珪素基板上に温度473K,酸素分圧5×10^-3~8×10^-2Pa下で酸化銅薄膜を蒸着した。酸素分圧<2×10^-2Paで蒸着した膜はCu₂OとCuの混合相を,2×10^-2Paでは単相Cu₂Oを示した。5×10^-2Paを超える酸素分圧で形成した膜はCu₂OとCuの混合相を,8×10^-2PaではCuO相を示した。酸素分圧が8×10^-3Paから2×10^-2Paへ高くなると,結晶粒径が40nmか110nmへ増大した。

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  分圧 ,  *圧力効果 ,  薄膜成長 ,  ナノ結晶 ,  *酸化銅 ,  結晶粒径 ,  *結晶成長 ,  表面構造
準シソーラス用語： 酸素分圧

分類 (1件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

タイトルに関連する用語 (8件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  ナノ結晶 ,  Cu2O ,  CuO ,  構造特性 ,  表面形態 ,  光学的性質 ,  酸素分圧