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J-GLOBAL ID：201202262123694360   整理番号：12A1370715

非コプレーナ光インターコネクト用の45°微小反射鏡を設けたSOIを用いた台形導波路

SOI-based trapezoidal waveguide with 45° microreflector for noncoplanar optical interconnect

著者 (7件)： CHANG Chia-chi ,  SHEN Po-kuan ,  CHEN Chin-ta ,  HSIAO Hsu-liang ,  LAN Hsiao-chin ,  LEE Yun-chih ,  WU Mount-learn
資料名： Optics Letters  (Optics Letters)
巻： 37  号： 5  ページ： 782-784  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： H0690A  ISSN： 0146-9592  CODEN： OPLEDP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンオンインシュレータ(SOI)を用いた,非コプレーナ光インターコネクト用の45°微小反射鏡を設けた台形導波路を示した。この提案の導波路は,単一ステップの異方性湿式エッチングプロセスを用いて配向確定(100)SOI基板上に作製した。提案の導波路の光学的性能を数値計算と実験によって検討した。-4.51dBの透過率,±20μmのアライメント許容度,-53dBのクロストーク,および-4.04dB/cmの伝搬損失が達成された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *光導波路 ,  台形 ,  反射鏡 ,  SOI構造 ,  結晶方位 ,  エッチング ,  透過率 ,  アラインメント ,  許容量 ,  クロストーク ,  損失 ,  *相互接続 ,  ウェットエッチング
準シソーラス用語： 異方性エッチング ,  *光相互接続 ,  湿式エッチング ,  伝搬損失

分類 (2件)： 光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H) ,  その他の光伝送素子  (BD06040S)

タイトルに関連する用語 (6件)： インターコネクト ,  微小 ,  反射鏡 ,  SOI ,  台形 ,  導波路