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J-GLOBAL ID：201202262393874440   整理番号：12A0693869

プログラム可能な周波数機能をもつマイクロ機械共振器

A micro-mechanical resonator with programmable frequency capability

著者 (9件)： MERCED Emmanuelle (Michigan State Univ., MI, USA) ,  MERCED Emmanuelle (Univ. Puerto Rico-Mayaguez, PR, USA) ,  CABRERA Rafmag (Michigan State Univ., MI, USA) ,  CABRERA Rafmag (Univ. Puerto Rico-Mayaguez, PR, USA) ,  DAVILA Noraica (Michigan State Univ., MI, USA) ,  DAVILA Noraica (Univ. Puerto Rico-Mayaguez, PR, USA) ,  FERNANDEZ Felix E (Univ. Puerto Rico-Mayaguez, PR, USA) ,  SEPULVEDA Nelson (Michigan State Univ., MI, USA) ,  SEPULVEDA Nelson (Univ. Puerto Rico-Mayaguez, PR, USA)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 21  号： 3  ページ： 035007,1-9  発行年： 2012年03月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： VO₂薄膜で被覆されたSiO₂のマイクロ機械ブリッジ構造から成る共振周波数記憶セルであるマイクロ電子機械システム装置について述べた。215.5から222.7kHZの範囲に13の共振周波数メモリー状態をマイクロブリッジ構造にレーザパルスを集束することでプログラム化した。プログラミング実験中は装置を60°Cに保持した。メモリーは温度をヒステリシスループ外にすればリセットされる。試料を60°Cのプレ加熱温度に保持すればメモリーは24時間以上残ることを示した。

シソーラス用語： *微小共振器 ,  *共振周波数 ,  レーザパルス ,  二酸化ケイ素 ,  *記憶素子 ,  共振器
準シソーラス用語： プログラム化 ,  記憶セル ,  MEMS共振器

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (1件)： 機械共振器