文献

J-GLOBAL ID：201202262480046414   整理番号：12A0215158

CdTe薄膜の表面化学組成に及ぼす硝酸-リン酸によるエッチングの効果

Nitric-phosphoric acid etching effects on the surface chemical composition of CdTe thin film

著者 (6件)： IRFAN ,  XIA Wei ,  LIN Hao ,  DING Huanjun ,  TANG Ching W. ,  GAO Yongli
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 6  ページ： 1988-1992  発行年： 2012年01月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： CdTeを基本とする太陽電池に関する硝酸-リン酸(NP酸)によるエッチングは,金属電極を用いた低抵抗の裏面電極を形成するための最も有効な方法の一つと見なされている。X線光電子分光法(XPS)および原子間力顕微鏡によって,CdTeの裏面およびNP酸に対する暴露時間に伴う変化を研究した結果を報告する。裏面の化学組成および表面の粗さに関する強いエッチング依存性が観測された。表面分解に対するNP酸エッチングの効果を研究するために,試料を開放した周囲条件下に3週間放置し,イオンスパッタリングと組み合わせたXPS測定を,エッチングしていない試料と高度にエッチングした試料に関して行った。NP酸でエッチングしたCdTe表面とエッチングしていないCdTe表面の深さプロファイルの違いを議論した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *テルル化カドミウム ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  硝酸 ,  リン酸 ,  *エッチング ,  *太陽電池 ,  電極 ,  X線光電子分光法 ,  顕微鏡観察 ,  原子間力顕微鏡 ,  時間発展 ,  化学組成 ,  イオンビームスパッタリング ,  深さプロフィル ,  表面粗さ
準シソーラス用語： イオンスパッタリング ,  金属電極 ,  原子間力顕微鏡観察

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (6件)： CdTe ,  薄膜 ,  化学組成 ,  硝酸 ,  リン酸 ,  エッチング