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J-GLOBAL ID：201202262490160290   整理番号：12A0727649

〈ホップ・ステップ・ジャンプ〉走査電子顕微鏡の研究開発への応用-解析事例,こんなことに使われる-

Application of the research and development of scanning electron microscope.

著者 (1件)： 米光恭子 (材料科学技術振興財団)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 81  号： 5  ページ： 425-428  発行年： 2012年05月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 広く普及している走査電子顕微鏡(SEM)について,前号にて原理と像を取得するメカニズムについて紹介した。本稿では,実際のユーザーの立場からSEMの観察事例を通じて利用分野を紹介する。(著者抄録)

シソーラス用語： *走査電子顕微鏡 ,  *電子顕微鏡観察 ,  *研究開発 ,  電子 ,  陰極線ルミネセンス ,  固有X線 ,  電子回折 ,  後方散乱 ,  電子線誘起電流 ,  コントラスト ,  事例研究
準シソーラス用語： Auger電子 ,  EBSD法 ,  反射電子顕微鏡 ,  二次電子

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

引用文献 (6件)：

• 日本電子顕微鏡学会関東支部編. 走査電子顕微鏡の基礎と応用. 1985
• 日本電子顕微鏡学会関東支部編. 走査電子顕微鏡. 2008, 128
• 米光恭子. (社)日本電子顕微鏡学会SEM応用技術研究部会-SCAN TECH2000予稿集. 2000, 3
• CHAISITSAK, S. Jpn. J. Appl. Phy. 2002, 41, 507
• 船津国博. 第56回応用物理学関係連合講演会予稿集, 2009. 2009, 906

タイトルに関連する用語 (7件)： ホップ ,  ジャンプ ,  走査電子顕微鏡 ,  研究 ,  開発 ,  応用 ,  解析