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J-GLOBAL ID：201202262827269222   整理番号：12A1656403

「如何に正確に作動するのか?」

“How exactly does this work?”

著者 (2件)： REITER K. (ISIT Itzehoe, Itzehoe) ,  SCHNARR H. (Struers GmbH Willich, Willich)
資料名： Practical Metallography  (Practical Metallography)
巻： 49  号： 10  ページ： 633-645  発行年： 2012年 
JST資料番号： B0731A  ISSN： 0032-678X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： デバイスや電子機器の小型化に対応した高品質のターゲット部品の材料組織学的調製法についてのドイツ材料科学協会DGMワーキンググループ「調製」による活動成果を報告した。寸法約50~500μm範囲のターゲットの調製に費やされる時間,正確性,製品品質について共同比較試験した。供試材には三種類のターゲット(シリコンチップ,二種類のプリント回路ボード)を用いた。消費時間の大きな要素は,研磨工程と試料準備に関する経験的技能であった。成果としてターゲット調整法(研磨やエッチング等)の一般的な推奨事項を取りまとめた。

シソーラス用語： プリント基板 ,  研磨 ,  半導体チップ ,  *材料科学 ,  半導体素子 ,  小型化 ,  金属組織 ,  *微細構造 ,  *試料調製 ,  *ターゲット ,  *金属組織学
準シソーラス用語： シリコンチップ ,  デバイス ,  プリント回路ボード ,  *材料組織学

分類 (2件)： 金属組織観察法  (WB01010R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)