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J-GLOBAL ID：201202263556356023   整理番号：12A1651053

準結晶AlCuFeBおよびβ相を含むコーティングのマグネトロンスパッタリングによる堆積

Deposition of coatings containing quasicrystalline AlCuFeB and β phase by magnetron sputtering

著者 (4件)： VOLLNHOFER W. ,  EISENMENGER-SITTNER C. ,  MOZDZEN G. ,  NEUBAUER E.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 211  ページ： 122-126  発行年： 2012年10月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 準結晶は,減少した表面エネルギー,低密着および低摩擦係数のような興味深い材料特性を示すことが知られている。平衡相であり構成成分が低コストであることから特に注目されているものはAl₅₉Cu_25.5Fe_12.4B₃である。AlCuFeBコーティングをマグネトロンスパッタリングにより異なる基板上に堆積した。用いた全てのターゲットは異なる粉末を用いた1軸ホットプレスによりRHPテクノロジー社において作製された。ターゲットは,高い脆性に加え低い電気伝導および熱伝導のようなセラミック挙動を示し,それはおそらく発達した準結晶相に起因する。堆積に対して,堆積出力,作動ガス圧,ポストアニールパラメーターといったパラメーターを変化させた。堆積したコーティングを,高分解能走査電子顕微鏡(HRSEM),エネルギー分散X線分光法(EDS)およびX線回折(XRD)により分析した。ターゲットは,結果としてコーティング組成の統計的づれおよび作動ガス圧と堆積出力に対するコーティング組成の系統的依存性をもたらすクラック形成の問題を抱える。もし,化学組成が公称のAl₅₉Cu_25.5Fe_12.4B₃に十分近くそして適切なポストアニールパラメーターが選択されたならば,準結晶AlCuFeB相が発達することを示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マグネトロンスパッタリング ,  *準結晶 ,  熱伝導率 ,  電気伝導率 ,  焼なまし ,  *アルミニウム合金 ,  銅含有合金 ,  鉄含有合金 ,  ホウ素添加合金 ,  金属組織 ,  *スパッタ蒸着 ,  β相 ,  摩擦係数 ,  亀裂発生 ,  超硬合金 ,  ウエハ【IC】
準シソーラス用語： ケイ素基板

分類 (2件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 準結晶 ,  β相 ,  コーティング ,  マグネトロンスパッタリング ,  堆積