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J-GLOBAL ID：201202263557047393   整理番号：12A1123703

有機-無機多層薄膜を通る水浸透

Water permeation through organic-inorganic multilayer thin films

著者 (6件)： SEO Seung-woo (School of Chemical Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  JUNG Eun (School of Chemical Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  LIM Chankyu (School of Chemical Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  CHAE Heeyeop (School of Chemical Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  CHO Sung M. (School of Chemical Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR) ,  CHO Sung M. (Advanced Materials and Process Res. Center for IT, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 21  ページ： 6690-6694  発行年： 2012年08月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリエチレンテレフタレート基板上へ原子層蒸着法と分子層蒸着法を使って,同じ蒸着チェンバー中に有機(自己集合した単層(SAM))-無機(TiO₂)多層障壁膜を調製した。水の浸透は主に無機TiO₂層によりブロックされる。この遅れ時間はTiO₂層の厚みに比例するが,定常状態の浸透率は比較厚みには依存しない。多層法は,曲がりくねった経路効果と内部の乾燥効果両方が原因となって,遅れ時間を広げるのに有効である。有機SAM層での水浸透は,水の蓄積により,有機-無機多層障壁中で逐次起こる。水蒸気の透過率は,60°C,85%の相対湿度において,5ディアド障壁膜に対して,155時間の遅れ時間中で7.0×10^-4g/m²日である,Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化チタン ,  多層膜 ,  ポリエチレンテレフタレート ,  *単分子層 ,  *浸透率 ,  膜厚 ,  時間 ,  *水蒸気 ,  化学蒸着 ,  浸透 ,  相対湿度
準シソーラス用語： *SAM ,  遅れ時間 ,  原子層蒸着 ,  分子層蒸着

分類 (1件)： 高分子固体のその他の性質  (CG02025L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 多層薄膜 ,  水 ,  浸透