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J-GLOBAL ID：201202264540809296   整理番号：12A0832828

臨界座屈状態近傍で動作する応力ベースの共振揮発性ガスマイクロセンサ

Stress-based resonant volatile gas microsensor operated near the critically buckled state

著者 (9件)： JOE Daniel J. (School of Electrical and Computer Engineering, Ithaca, New York 14853, USA) ,  LINZON Yoav (School of Applied and Engineering Physics, Ithaca, New York 14853, USA) ,  ADIGA Vivekananda P. (School of Applied and Engineering Physics, Ithaca, New York 14853, USA) ,  BARTON Robert A. (School of Applied and Engineering Physics, Ithaca, New York 14853, USA) ,  KIM Moonkyung (School of Electrical and Computer Engineering, Ithaca, New York 14853, USA) ,  ILIC Bojan (Cornell NanoScale Sci. and Technol. Facility, Ithaca, New York 14853, USA) ,  KRYLOV Slava (School of Mechanical Engineering, Fac. of Engineering, Tel Aviv Univ., Tel Aviv, 69978, ISR) ,  PARPIA Jeevak M. (Lab. of Atomic and Solid State Physics, Ithaca, New York 14853, USA) ,  CRAIGHEAD Harold G. (School of Applied and Engineering Physics, Ithaca, New York 14853, USA)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 111  号： 10  ページ： 104517-104517-9  発行年： 2012年05月15日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリメタクリル酸メチル(PMMA)を片側にコートして極限的に曲げられた多結晶シリコンを二重にクランプした機械的共振器を使用して,大気からの化学蒸気の検出について述べる。この検出の方法はビームの変えられた伸張を生み出す60nm厚のPMMA層の体積膨張による応力誘起共振周波数シフトに基づいている。応力変化はベースライン周波数の150%と同程度の共振周波数シフトを生み出す。感度を最大にするためには,多結晶シリコン共振器の残留応力を,臨界座屈応力をわずかに超える程度まで調整する。光学的な読み出しを提供し,スクイーズされた膜の影響を最小にするためにブリッジと基板の間の比較的大きなギャップを組み込む。より大きなギャップは,以前の実施に比べて周囲圧力と温度条件下で,これらの共振器の品質因子と周波数安定性を大幅に改良することを示す。これらは今回のガス供給と読み出しシステムで測定した数秒の応答時間を有する~360Hz/ppmのエタノール蒸気の濃度変化当りの共振周波数シフトを導く。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  ポリメタクリル酸メチル ,  *ポリシリコン ,  残留応力 ,  共振周波数 ,  周波数安定度 ,  揮発性有機化合物 ,  ケイ素 ,  *共振器 ,  感度 ,  座屈 ,  *応力 ,  脂肪族アルコール
準シソーラス用語： マイクロセンサ ,  多結晶シリコン ,  周波数安定性

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  その他の固体デバイス  (NC03150A)

物質索引 (1件)： エタノール

タイトルに関連する用語 (7件)： 臨界 ,  座屈 ,  近傍 ,  応力 ,  共振 ,  揮発性ガス ,  マイクロセンサ