文献

J-GLOBAL ID：201202264599116561   整理番号：12A1328595

液体注入化学蒸着により調製したナノ構造ZrO₂膜

Nanostructured ZrO₂ membranes prepared by liquid-injection chemical vapor deposition

著者 (10件)： HEMMER Eva (Leibniz Inst. for New Materials, CVD Technol., Saarland Univ., 66123 Saarbruecken, DEU) ,  KUMAKIRI Izumi (SINTEF, Materials and Chemistry, PB 124 Blindern, N-0314 Oslo, NOR) ,  LECERF Nicolas (SINTEF, Materials and Chemistry, PB 124 Blindern, N-0314 Oslo, NOR) ,  BREDESEN Rune (SINTEF, Materials and Chemistry, PB 124 Blindern, N-0314 Oslo, NOR) ,  BARTH Sven (Leibniz Inst. for New Materials, CVD Technol., Saarland Univ., 66123 Saarbruecken, DEU) ,  ALTMAYER Jessica (Leibniz Inst. for New Materials, CVD Technol., Saarland Univ., 66123 Saarbruecken, DEU) ,  DONIA Nicole (Leibniz Inst. for New Materials, CVD Technol., Saarland Univ., 66123 Saarbruecken, DEU) ,  CAVELIUS Christian (Leibniz Inst. for New Materials, CVD Technol., Saarland Univ., 66123 Saarbruecken, DEU) ,  SOGA Kohei (Tokyo Univ. of Sci., Dep. of Materials Sci. and Technol., 2641 Yamazaki, Chiba 278-8510, JPN) ,  MATHUR Sanjay (Leibniz Inst. for New Materials, CVD Technol., Saarland Univ., 66123 Saarbruecken, DEU)
資料名： Microporous and Mesoporous Materials  (Microporous and Mesoporous Materials)
巻： 163  ページ： 229-236  発行年： 2012年11月15日 
JST資料番号： E0642C  ISSN： 1387-1811  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 液体注入化学蒸着過程で分子化合物Zr(OBu^t)₄を用い,多孔性多層アルミナ基板(メソ多孔性γアルミナで被覆したマクロ多孔性αアルミナ基礎から成る)上へマイクロ多孔性ジルコニア膜を蒸着させた。前駆体熱分解で生成したナノ結晶質ジルコニア構造膜は,分解温度と注入頻度に依存し変化した。走査電子顕微鏡(SEM),エネルギー分散X線分光分析(EDX),X線回折(XRD),原子間力顕微鏡(AFM)により,蒸着ジルコニア膜を特性化した。500と600°Cで得られた蒸着物のX線回折分析パターンは,正方晶と単斜晶ZrO₂混合相を示す一方,単斜晶相割合は,より高い基板温度と注入頻度で増えた。形態と表面粗さはプロセスパラメータに強く依存した。液体注入化学蒸着により調製したZrO₂膜は,1nmKelvin直径未満のマイクロ多孔性構造を示した。液体注入化学蒸着は,事後処理も無く一段階でマイクロ多孔性膜を調製する固有の方法である。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化ジルコニウム ,  *ナノ構造 ,  *化学蒸着 ,  基板 ,  多孔質体 ,  多層構造 ,  多孔性 ,  *蒸着膜 ,  前駆体 ,  熱分解 ,  ナノ結晶 ,  分解温度 ,  温度依存性 ,  頻度 ,  依存性 ,  走査電子顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  X線回折 ,  原子間力顕微鏡 ,  正方晶系 ,  単斜晶系 ,  プロセスパラメータ ,  表面粗さ ,  結晶形態
準シソーラス用語： マイクロ多孔性

分類 (3件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  薄膜成長技術・装置  (BK14020I)

物質索引 (1件)： テトラブトキシジルコニウム(IV)

タイトルに関連する用語 (5件)： 注入 ,  化学蒸着 ,  調製 ,  ナノ構造 ,  ZrO2