抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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マイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)(マイクロシステム,テクノロジ,あるいはMSTとしても知られている)に対する需要は連続的に増加しており,少なくとも数十年以上にわたって成長することが予想される。例えば,2005年に製造されたMEMSベース製品は800万ドルに達し,シナリオの40%を占めている。そのバランスは,インクジェットプリンタヘッド,カテーテル,および埋込インダクションをもつRF ICチップのようなマイクロ加工形態を含む製品に対してである。成長は,急速な増加曲線を示し,2015年には400万ドルに,2025年には2000万ドルになる。データに対する成長は,自動圧力センサおよびエアーバッグ加速度計,ミニチュアガイダンスシステム,およびMEMS RFデバイスのような新しい製品が例証されるように,テクノロジ変位の組合せからくる。MEMSビジネスにおける成長の多くは,開発の初期ステージあるいは発明における製品によるものと想像される。これらの製品のいくつかには,各種のRFコミニュケーションおよびリモートセンシング製品と同様に,病院実験室,集積光学スイッチングおよび処理チップにおいて現在行われていない血液および組織サンプルにおける検査の実行に対する処理チップが含まれている。特に,新しい非常に実現可能なデバイスと同様に,検出,解析,および損傷の低減に適したMEMSが開発され,今後の適用が予想される。本文では,瞬間的興味の代表的MEMSの開発を検討し,今日の実験的メカニクスにおいて最も検討されている研究のいくつかと同様に,日常生活に関係する適用を検証した。Copyright 2011 Society for Experimental Mechanics Translated from English into Japanese by JST.
