文献

J-GLOBAL ID：201202265778765315   整理番号：12A1217325

角度分解XPSにおける表面粗さ,うねり,形状誘導の影響

Surface roughness, waviness, and shape induced effects in angle-resolved XPS

著者 (8件)： BIANCHI D. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  KATONA L. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  BRENNER J. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  VORLAUFER G. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  VERNES A. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  VERNES A. (Vienna Univ. Technol., Vienna, AUT) ,  WERNER W. S. M. (Vienna Univ. Technol., Vienna, AUT) ,  BETZ G. (Vienna Univ. Technol., Vienna, AUT)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 44  号： 8  ページ： 1096-1099  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多重解像度解析を用いて,角度分解(AP)XPSに対する粗さ,うねり,および形状の影響を,さまざまなレベルの解像度でBeer-Lambert則を局所的に適用することにより,工学表面のケースにおいて理論的に調査した。多重解像度解析は,解像度に依存する表面から,小さな波長の粗さと他の構造的要素を除去するための,およびAR-XPSスペクトル上の粗さ,うねりおよび形状のような異なる構造的側面の影響を調査するための強力なツールであることを示した。このようにして,調査した界面の構造的な異常点に直接帰することができる,AR-XPSの特徴を識別することは可能である。

シソーラス用語： *X線光電子分光法 ,  表面粗さ ,  表面性状 ,  *形態
準シソーラス用語： うねり【表面】 ,  *表面形状

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 分解 ,  XPS ,  表面粗さ ,  うねり ,  誘導