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J-GLOBAL ID：201202265964001279   整理番号：12A0903897

Nb微小環を持つアトN感度のSi片持梁の製作と特性化

Fabrication and Characterization of an Attonewton-sensitivity Si Cantilever with an Nb Micro-ring

著者 (5件)： KIM Yun Won (Korea Univ., Chungnam, KOR) ,  KIM Yun Won (Korea Res. Inst. Standards and Sci., Daejeon, KOR) ,  CHOI Heon Hwa ,  CHOI Jae-Hyuk ,  LEE Soon-Gul (Korea Univ., Chungnam, KOR)
資料名： Journal of the Korean Physical Society  (Journal of the Korean Physical Society)
巻： 60  号： 7  ページ： L973-L977  発行年： 2012年04月13日 
JST資料番号： T0357A  ISSN： 0374-4884  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 韓国 (KOR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *片持梁 ,  ニオブ ,  環 ,  *センサ ,  ケイ素 ,  *MEMS ,  単位 ,  力
準シソーラス用語： アトニュートン ,  微小環 ,  *力センサ

分類 (1件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (8件)： Nb ,  微小 ,  環 ,  感度 ,  Si ,  片持梁 ,  製作 ,  特性化