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J-GLOBAL ID：201202266367814222   整理番号：12A1704162

溶融シリカ内の任意の長さと均一な直径を持つ三次元螺旋マイクロチャンネルの製作

Fabrication of three-dimensional helical microchannels with arbitrary length and uniform diameter inside fused silica

著者 (11件)： HE Shengguan ,  CHEN Feng ,  LIU Keyin ,  YANG Qing ,  LIU Hewei ,  BIAN Hao ,  MENG Xiangwei ,  SHAN Chao ,  SI Jinhai ,  ZHAO Yulong ,  HOU Xun
資料名： Optics Letters  (Optics Letters)
巻： 37  号： 18  ページ： 3825-3827  発行年： 2012年09月15日 
JST資料番号： H0690A  ISSN： 0146-9592  CODEN： OPLEDP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶融シリカ内に任意の長さと均一な直径を持つ複雑な三次元(3D)マイクロチャンネルを生成するための改善されたフェムト秒レーザ照射及び続く化学エッチング過程を示した。特別なアクセスポート及び二次パワー補償を導入するための区分化学エッチング法を示した。これは1.140cmの長さと522のアスペクト比を持つ均一な3D螺旋マイクロチャンネルの製作を可能にした。この方法に基づいて,長い螺旋マイクロチャンネルとyテープマイクロチャンネルからなるマイクロ混合器を溶融シリカ内に生成した。yテープマイクロチャンネルの二つの入り口を通じてフェノールフタレイン及びNaOH溶液を注入することにより,微小混合器の混合特性を測定した。3D微小混合器における迅速で効率的な混合が低Reynolds数で達成された。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *石英ガラス ,  三次元 ,  *螺旋 ,  *チャネル ,  *パルスレーザ ,  *マイクロマシニング ,  エッチング ,  フルイディクス ,  混合装置 ,  レーザリソグラフィー ,  *マイクロチャネル ,  *フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： 化学エッチング

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  流体式制御機器  (IC02030J)

タイトルに関連する用語 (5件)： 溶融シリカ ,  直径 ,  螺旋 ,  マイクロチャンネル ,  製作