文献

J-GLOBAL ID：201202266614408747   整理番号：12A1099956

水/DEZ比によるCVD蒸着ZnO膜特性の制御 電極形態と電気特性の分離

Control of CVD-deposited ZnO films properties through water/DEZ ratio: Decoupling of electrode morphology and electrical characteristics

著者 (7件)： NICOLAY S. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Inst. of Microengineering (IMT), Photovoltaics and thin-film ...) ,  BENKHAIRA M. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Inst. of Microengineering (IMT), Photovoltaics and thin-film ...) ,  DING L. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Inst. of Microengineering (IMT), Photovoltaics and thin-film ...) ,  ESCARRE J. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Inst. of Microengineering (IMT), Photovoltaics and thin-film ...) ,  BUGNON G. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Inst. of Microengineering (IMT), Photovoltaics and thin-film ...) ,  MEILLAUD F. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Inst. of Microengineering (IMT), Photovoltaics and thin-film ...) ,  BALLIF C. (Ecole Polytechnique Federale de Lausanne (EPFL), Inst. of Microengineering (IMT), Photovoltaics and thin-film ...)
資料名： Solar Energy Materials and Solar Cells  (Solar Energy Materials and Solar Cells)
巻： 105  ページ： 46-52  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： D0513C  ISSN： 0927-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究では,定温での酸素/亜鉛前駆体の比率の変化によって,層のシート抵抗と透明性を一定に保ちながら,低圧有機金属化学蒸着によって蒸着された酸化亜鉛(ZnO)膜の表面形態を変えられることを示す。これによって,低い表面粗さ(15nm未満)や低いシート抵抗(15未満Ω/□)などの興味深い特性を結合したZnO層を発生できる。したがって,この技法を使用することによって,層の電導度または透明性に影響せずに,表面形態を通して膜の光散乱能力を調整できる。この技法は薄膜シリコン太陽電池の前部電極を最適化する効率的なツールを提供する。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： エレクトロセラミック ,  *酸化亜鉛 ,  表面粗さ ,  セラミック膜 ,  製膜 ,  蒸着膜 ,  MOCVD ,  電気抵抗 ,  透光性 ,  光反射 ,  太陽電池 ,  表層

分類 (2件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： ジエチル亜鉛

タイトルに関連する用語 (7件)： 水 ,  CVD ,  蒸着 ,  ZnO ,  膜特性 ,  形態 ,  電気特性