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J-GLOBAL ID：201202266678377055   整理番号：12A0674989

相対湿度及びCO₂検出のための高感度共鳴化学センサにおけるメソ多孔質薄膜

Mesoporous Thin-Film on Highly-Sensitive Resonant Chemical Sensor for Relative Humidity and CO₂ Detection

著者 (5件)： LEE Hyunjoo J. (Stanford Univ., California, USA) ,  PARK Kwan Kyu (Stanford Univ., California, USA) ,  KUPNIK Mario (Brandenburg Univ. Technol., Cottbus, DEU) ,  MELOSH Nicholas A. (Stanford Univ., California, USA) ,  KHURI-YAKUB Butrus T. (Stanford Univ., California, USA)
資料名： Analytical Chemistry  (Analytical Chemistry)
巻： 84  号： 7  ページ： 3063-3066  発行年： 2012年04月03日 
JST資料番号： A0395A  ISSN： 0003-2700  CODEN： ANCHAM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型化した高感度の共鳴化学センサに多孔質シリカ薄膜を直接応用した容量微小測定超音波振動子に基づくセンサを開発した。相対湿度(RH)及びCO₂検出に対する質量感度は5.1×10^-4%RH/Hzであり,非鋳型化シリカ層デバイスに比べて70倍の感度を示した。共鳴センサに直接応用したアミノ基官能型のメソ多孔質薄膜では1.6×10^-4%/Hzの体積感度が得られ,窒素中のCO₂に対する体積分解能は1.82×10^-4%であった。

シソーラス用語： *相対湿度 ,  *二酸化炭素 ,  多孔性 ,  多孔質体 ,  振動子 ,  化学センサ ,  *ガスセンサ ,  超音波変換器 ,  マイクロマシニング ,  静電容量 ,  酸化物 ,  薄膜 ,  二酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリカ ,  CMUT ,  メソポーラスシリカ ,  メソ多孔質 ,  二酸化炭素ガス ,  酸化物薄膜 ,  超音波振動子

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  無機化合物の物理分析  (CC03024P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 相対湿度 ,  CO2 ,  高感度 ,  共鳴 ,  化学センサ ,  メソ多孔質 ,  薄膜