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J-GLOBAL ID：201202266869647702   整理番号：12A0809778

レーザマイクロマシニング半スリンキー様MEMS構造: 新しい界面冷却器

Laser micro-machined semi-slinky like MEMS structures: Novel interface coolers

著者 (1件)： CELEN Serap (Ege Univ., Mechanical Engineering Dep., 35100, Izmir, TUR)
資料名： Optics & Laser Technology  (Optics & Laser Technology)
巻： 44  号： 7  ページ： 2043-2048  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： D0245B  ISSN： 0030-3992  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最近,レーザマイクロマシニングがMEMSを高精度に再現性良く製造する技術と考えられている理由は,集光レーザビーム特性が優れているためである。それは,ユニークなツールだけでなく見えない光学的ドリルでもある。本論文の目的は二つある。一つは,新しいチタニウムの小型三次元MEMS表面構造を作製して,冷却性能を増大することである。次に,レーザ材料相互作用機構を制御する使用可能なパラメータを見つけることである。また,20Wのイッテルビウムファイバレーザを利用して,新しい半スリンキー様MEMS構造を得るために,最良の調整を提案することであった。パルス幅40nsのイッテルビウムファイバレーザ(λ=1060nm)を利用して,新しい界面冷却器を有する純粋チタニウムマイクロMEMSプロダクトを製造した。最良の調整パラメータを示した。パルス幅は40ns,パルスエネルギーは0.4mJ,レーザ走査速度は336.1mm/sピーク出力密度は17.46x10⁸W/cm²であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *マイクロマシニング ,  *レーザ加工 ,  *MEMS ,  冷却器 ,  界面 ,  チタン ,  イッテルビウム ,  ファイバレーザ ,  レーザビーム ,  パラメータ ,  相互作用
準シソーラス用語： 走査速度

分類 (1件)： レーザの応用  (BD04100V)

タイトルに関連する用語 (4件)： レーザマイクロマシニング ,  MEMS ,  界面 ,  冷却器