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J-GLOBAL ID：201202266899850545   整理番号：12A0597573

細管内粗さ測定に関する研究(第1報)-先端加工ファイバと円柱状反射鏡を用いたセンサの開発-

著者 (2件)： 奥山栄樹 (秋田大) ,  吉成渉 (秋田大 院)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2012  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F32  発行年： 2012年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,加工技術の進歩によりアスペクト比の高い深穴や深溝の加工が行われているが,その内部の粗さ等の形状の測定は困難である。そこで,従来の粗さ計の差動トランスに換わる先端加工光ファイバと円柱状反射鏡を使用した新しいセンサを開発し,その基本的な性能を調べた。実験を行った結果,提案するセンサの高さ方向の測定範囲45μm,精度24nmとなった。(著者抄録)

シソーラス用語： *毛細管 ,  *表面粗さ ,  反射鏡 ,  光ファイバ ,  *センサ ,  アスペクト比 ,  溝加工 ,  *形状測定 ,  差動変圧器 ,  *プロフィルメータ
準シソーラス用語： 高アスペクト比 ,  差動トランス ,  *細管 ,  *表面粗さ計

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (7件)： 細管 ,  粗さ ,  研究 ,  ファイバ ,  円柱 ,  反射鏡 ,  開発