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J-GLOBAL ID:201202267015627585   整理番号:12A0871973

垂直整列カーボンナノチューブアレイの制御可能なスケールアップ成長に関する研究

Study on the Controllable Scale-Up Growth of Vertically-Aligned Carbon Nanotube Arrays
著者 (5件):
資料名:
巻: 12  号:ページ: 2722-2732  発行年: 2012年03月 
JST資料番号: W1351A  ISSN: 1533-4880  CODEN: JNNOAR  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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石英基板上に高純度の垂直整列カーボンナノチューブ(CNT)アレイを成長させ,良好な試料を得るための最適条件を探索した。試料はフェロセンを触媒源,カンファーを炭素源とした気相触媒化学蒸着法により作製した。作製試料の形態と構造に対しては,成長過程でのフェロセン/カンファー質量比(FCR),Arガス流速,支援水濃度が大きく影響した。FCRは特にCNTアレイの厚さと密度に影響し,FCRの増大に対して最大値を示した。ガス流速の増大は構造サイズに影響する他,長距離秩序化結晶完全性を改善するが,増大し過ぎるとその劣化が起こる。支援水の存在はCNTの整列と結晶構造を改善し,不純物炭素を制御するが,多過ぎるとCNT壁を損傷する。こうして,良好な試料を得るためのFCR,流速,水濃度の最適値は,それぞれ7.5~10,1.12L/分,70ppmと定められた。
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分類 (2件):
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その他の無機化合物の薄膜  ,  炭素とその化合物 
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