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J-GLOBAL ID：201202267041806137   整理番号：12A0779938

MEMS高gスイッチの動的接触挙動に対するリアルタイムの現場電子監視

REAL-TIME IN SITU ELECTRONIC MONITORING OF DYNAMIC CONTACT BEHAVIOR OF MEMS HIGH-G SWITCHES

著者 (6件)： RAGHUNATHAN Nithin (Purdue Univ., IN, USA) ,  SANBORN Brett (Purdue Univ., IN, USA) ,  VENKATTAMAN A. (Purdue Univ., IN, USA) ,  ALEXEENKO Alina (Purdue Univ., IN, USA) ,  CHEN Weinong (Purdue Univ., IN, USA) ,  PEROULIS Dimitrios (Purdue Univ., IN, USA)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 25th Vol.1  ページ： 464-467  発行年： 2012年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報では,50000gまでの加速度荷重の下で作動するパッケージ化高gスイッチの,リアルタイム接触監視方法を提案した。一般に,そのような加速度荷重は,多段ロケット発射および大地貫通兵器のような衝撃現象において典型的に見られる。接触監視は,超低電力(<60μW)CMOSインタフェースを利用した,完全電子化方法によって行なう。そして,このCMOSは,MEMSチップとの一体化構造を形成し,500kHzを超えるサンプリング速度で,接触領域の周囲の容量変化を正確に検出する。高g条件下のスイッチ閉止時間に関する実験とモデリングによる結果は5%以内の差で一致し,本報の測定法の妥当性を証明している。

シソーラス用語： *MEMS ,  *スイッチ ,  *接触 ,  *実時間処理 ,  *監視 ,  *加速度 ,  半導体 ,  集積回路
準シソーラス用語： 高gスイッチ ,  動的接触

分類 (2件)： 混成集積回路  (NC03163K) ,  継電器・スイッチ  (NA05060K)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  挙動 ,  リアルタイム ,  現場 ,  電子