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J-GLOBAL ID：201202267157950901   整理番号：12A1449317

複雑形状マイクロ光学部品の単一段階直接レーザ加工

Single-step direct laser fabrication of complex shaped microoptical components

著者 (7件)： ZUKAUSKAS Albertas (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  TIKUISIS Kristupas K. (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  SCIUKA Mindaugas (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  MELNINKAITIS Andrius (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  GADONAS Roaldas (Vilnius Univ., Vilnius, LTU) ,  REINHARDT Carsten (Laser Zentrum Hannover e.V., Hannover, DEU) ,  MALINAUSKAS Mangirdas (Vilnius Univ., Vilnius, LTU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8428  ページ： 84280K.1-84280K.9  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ直接書込み技術によりハイブリッド有機-無機SZ20807およびSG4060感光性樹脂の最小化された従来のマイクロ光学部品の製造に関して報告した。すなわち,二次元(2D)ナノ機能付きマイクロレンス,マイクロプリズムと複雑形状の一次元(1D)と2Dおよび円形格子付きマイクロレンズのような三次元(3D)マイクロ光学部品の製造に関わる調査を提示した。レーザ直接書込みに使用する感光性樹脂はISO規格に準拠してレーザ誘導損傷閾値(LIDT)方法により特性評価される。

シソーラス用語： 部品 ,  ISO規格 ,  形態 ,  マイクロレンズ ,  *レーザ加工 ,  感光性高分子
準シソーラス用語： 光学部品 ,  複雑形状

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： 複雑形状 ,  マイクロ光学部品 ,  段階 ,  レーザ加工