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J-GLOBAL ID:201202267224199272   整理番号:12A1371382

6自由度位置測定のための非周期干渉計

Aperiodic interferometer for six degrees of freedom position measurement
著者 (8件):
資料名:
巻: 37  号:ページ: 1247-1249  発行年: 2012年04月01日 
JST資料番号: H0690A  ISSN: 0146-9592  CODEN: OPLEDP  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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6自由度のすべてに対して絶対位置と回転をナノメートルの精度で同時測定できる新しいクラスの干渉計システムを報告した。この新たな能力は周期的でない干渉縞のシステムの採用による。この新アプローチによって供される主要な強みの1つはシステムの絶対位置が,既知の位置からの変位の過程での縞の計数によるのではなく,1回の測定で決定できることである。6自由度のすべての同時測定が可能なことは従来の干渉測定に付随する多くの問題を取り除く。(翻訳著者抄録)
シソーラス用語:
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分類 (2件):
分類
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長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  ,  干渉測定と干渉計 
タイトルに関連する用語 (3件):
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