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J-GLOBAL ID：201202267574686370   整理番号：12A0674431

片持梁-利用MEMS圧電センサ及びアクチュエータのモデリングと特性化

Modeling and Characterization of Cantilever-Based MEMS Piezoelectric Sensors and Actuators

著者 (2件)： LITTRELL Robert ,  GROSH Karl
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 2  ページ： 406-413  発行年： 2012年04月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 複数の圧電体層間に発生する電圧の閉形式表現を提案し,片持梁圧電センサ及びアクチュエータを解析した。長さがLでN層の圧電体から成る梁に対し,線形圧電構成方程式を定式化し,梁の電圧駆動と電圧検出を解析した。両解析において圧電気結合は小さいものと仮定し,電場項を無視して片持梁の変位を計算した。MoとAlNを用い,長さが200~300μm,幅が30~300μmのMEMS片持梁を作製した。梁の変位特性と感度/位相の周波数特性の計算値と実測値はよく一致した。

シソーラス用語： *片持梁 ,  MEMS ,  *圧電センサ ,  *アクチュエータ ,  モデリング ,  キャラクタリゼーション ,  構成方程式 ,  モリブデン ,  窒化アルミニウム ,  マイクロホン
準シソーラス用語： エネルギーハーベスティング ,  圧電アクチュエータ ,  電気機械結合係数 ,  微小片持梁 ,  変位センサ

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： 片持梁 ,  MEMS ,  圧電センサ ,  アクチュエータ ,  モデリング ,  特性化