文献

J-GLOBAL ID：201202267602373286   整理番号：12A1447837

進歩した顕微鏡のナノ位置決めのための高速度で待ち時間の少ない通信の進歩

Advances in high-speed, low-latency communications for nanopositioning in advanced microscopy

著者 (1件)： JORDAN Scott C. (Physik Instrumente L.P., MA, USA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8378  ページ： 83780R.1-83780R.13  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 走査電子顕微鏡の真空層内のナノ位置決め機構やカメラと槽外の制御電子回路との接続には高速度の通信システムが必要である。複数の軸による位置と運動の制御では同時並行的な回転制御が不可欠で制御に時間遅れがあると運動の軌跡が指定した曲線から外れてしまう。LabVIEW-FPGAは伝送遅れ時間が1μs以下のPCI-Expressと略同等で,複数軸の同期回転制御に適用して正確な運動制御ができる。使用現場でプログラムが可能で,レンズの曲面設計等では各段階毎に複雑な関数設定が必要になるが並列運動学的設計を適用することで軽量かつ簡単な構造のプラットフォームを設計できる。ナノ位置決めステージでは加工歪みによるz軸方向の変形を補正する必要が生じるがPicoPlaneは800×800μmのXY走査ステージで±1nmの平坦さを実現できる。

シソーラス用語： 高速度 ,  待ち時間 ,  *電子顕微鏡観察 ,  *ナノ構造 ,  *位置決め ,  ナノテクノロジー ,  *原子間力顕微鏡 ,  手工具 ,  *USB【情報】 ,  規格 ,  多軸 ,  プレーナ技術 ,  *サーボ制御 ,  PID動作 ,  FPGA ,  プログラミング言語 ,  トライボロジー
準シソーラス用語： ピンセット ,  GPIB ,  平坦化 ,  LabVIEW ,  ナノトライボロジー

分類 (3件)： サーボ機構  (IC03030Q) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 顕微鏡 ,  ナノ位置決め ,  高速度 ,  待ち時間